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GB51076-2015电子工业防微振工程技术规范

发表于:2018-12-10 大小:0M 格式: 鲁文币:2

1 总则

1. o. 1 为规范电子工业防微振工程的勘察、设计及施工质量验收,确保满足精密设备及仪器所容许的微振动环境要求,并做到技术先进、经济适用、运行可靠及节约能源,制定本规范。

1. o. 2 本规范适用于新建、改建的电子工业厂房、测试站(台)等工程的防微振设计、施工及质量验收。

1. 0. 3 防微振工程设计、施工及质量验收,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。

2 术语

2. 0.1 微振动micro-vibration

影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。

2.0. 2 容许振动值allowable value of vibration

保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。

2.0.3 建筑结构防微振体系structural microvibration control system

为保证精密设备及仪器正常运行,对建筑结构采取减弱环境振动影响的综合措施。

2.0.4 主动隔振active vibration isolation

为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施。

2.0.5 被动隔振passive vibration isolation

为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振措施。

2.0.6 主动控制隔振装置active vibration isolating device

具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号,使隔振装置实时施加反向作用而降低环境振动影响,保证设备正常工作的装置。

2.0.7 隔振器vibration isolator

具有衰减振动功能的支承元件。

2.0.8 隔振装置vibration isolation mounting

由隔振器、阻尼器、调节阅、控制器及信号处理器等组成的隔振组合体。

2.0.9 隔振系统vibration isolation system

由被隔振对象、台板、隔振器或隔振装置组成的系统。

2.0.10 振动响应vibration response

建筑结构或隔振系统受振动作用时,其输出的振动位移、振动速度、振动加速度等。

2.0.11 环境振动environment vibration

建筑场地或建筑物在内外各种振源影响下的振动。

2.0.12 常时微动usual environmental micro vibration

无明确振源的场地或建筑物的微弱振动。

2.0.13 防微振墙microvibration isolation wall

在建筑结构中设置的减弱振动影响的墙体。

2.0.14 华夫板waffle slab

垂直单向流洁净室生产层现浇钢筋混凝土多孔楼板。

2.0.15 防微振设计anti-microvibration design

为将环境振动影响控制在精密设备及仪器容许振动值范围内,在工程设计规划、建筑结构设计与隔振设计等方面采取的综合措施。

2.0.16 防微振基台anti-microvibration table

由台板和支承结构组成的有隔振作用的结构体系,支承结构可为建筑结构或独立设置的梁、板、柱及基础,在台板和支承结构之间可安装隔振器或隔振装置。

3 基本规定

3.0.1 本规范所定义的微振动应为幅值不大于表3. 0. 1 规定的限值的振动。

3.0.2 防微振工程的勘察、设计、施工及安装宜遵循下列程序:

1 确定精密设备及仪器的容许振动标准;

2 场地工程地质、水文地质勘察及地基动力特性测试;

3 场地环境振动测试及分析;

4 场地综合评估及场地选择;

5 防微振工程设计方案论证;

6 防微振工程设计;

7 防微振工程施工及安装;

8 工程主体建筑竣工,各类设备尚未安装时的建筑结构动力测试及分析;

9 动力设备试运行时的环境振动测试及分析;

10 试生产时的环境振动测试及分析;

11 防微振工程验收;

12 微振动测试和分析应符合本规范附录A 的规定。

3.0.3 区域规划及厂区规划设计时振源位置应合理布置,振动大的振源宜布置在区域边缘或远离有防微振要求的建筑物。

3.0.4 建筑物内的振源与精密设备及仪器应分类集中、分区布置,并应相互远离。

3.0.5 防微振工程设计应包括下列内容:

1 建筑结构的防微振设计;

2 动力设备及管道的隔振设计;

3 精密设备及仪器的隔振设计。

3. 0. 6 防微振工程的设计与施工质量必须满足精密设备及仪器的窑许振动标准。

4 精密设备及仪器容许振动标准

4.1 一般规定

4.1.1 精密设备及仪器容许振动值的确定应符合下列规定之一:

1 厂商提供的容许振动值;

2 工艺要求的容许振动值;

3 本规范第4. 2 节规定的容许振动值。

4.1. 2 精密设备及仪器容许振动值的确定宜结合振动环境变化及设备更新的要求。

4.2 精密设备及仪器睿许振动值

4.2.1 电子工业用精密设备及仪器、纳米实验室及物理实验室用精密设备及仪器在频域范围内竖直向和水平向的容许振动值可按表4. 2. 1 采用。

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